طراحی ساختار مغناطیسی یک کاتد کندوپاش مگنترون با استفاده از شبیه سازی میدان مغناطیسی و بررسی نرخ لایه نشانی

Authors: not saved
Abstract:

در این مقاله با بهینه‌سازی پیکربندی اجزای مغناطیسی کاتد کندوپاش مگنترون تخت گرد توسط نرم‌افزار اجزای محدود ANSYS، یک طرح جدید برای چیدمان قطعات مغناطیسی کاتد پیشنهاد شده است. در این طرح با مایل قرار دادن آهنربای کناری نسبت به سطح هدف و بکارگیری یک مهار در زیر آن، خطوط شار مغناطیسی در ناحیه نسبتاً وسیعی در بالای هدف موازی سطح آن شده است. علاوه بر این، یک نمونه کاتد بر اساس این طراحی ساخته و پارامترهای عملکردی آن اندازه‌گیری شده است. این پارامترها شامل بازدهی مصرف هدف و نرخ لایه‌نشانی است که در فشار 50 میلی‌تور و توان 1 کیلووات به ترتیب مقادیر 56 درصد و 16 نانومتر بر ثانیه برای آنها بدست آمد.

Upgrade to premium to download articles

Sign up to access the full text

Already have an account?login

similar resources

بررسی چقرمگی شکست و حساسیت به نرخ کرنش لایه نازک نیترید تانتالوم تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی

نیترید تانتالوم به دلیل سختی بالا و مقاومت به خوردگی خوب توانسته است توجهات زیادی را به عنوان پوششی مناسب جلب نماید. اما چقرمگی شکست لایه‌های نازک نیترید تانتالوم که یکی از عوامل تاثیرگذار بر طول عمر پوشش است، هنوز به خوبی بررسی نشده است. در این پژوهش، برای نخستین بار، چقرمگی شکست، پلاستیسیته و حساسیت به نرخ کرنش لایه های نازک نیترید تانتالوم به کمک روش نانو فرورونده بررسی و ارزیابی شد. در این ...

full text

بررسی شبیه سازی اثرات هایپرترمیای ناشی از کاربرد نانوذرات مغناطیسی بربافت همگن واقع در میدان مغناطیسی خارجی

چکیدهدر مطالعات کلینیکی , مشخص کردن توزیع دما درون بافت سالم و نیز بافت تومورال در طی درمان هایپرترمیا دشوار است. از آن جایی که باحس گر های مرسوم دما تنها در تعداد محدودی مکان اندازه گیری می شود مطالعات شبیه سازی کمک می کند که پزشکان به درک بهتری از این روش درمانی دست پیدا کنند. در این مطالعه، سه مدل تومور دو بعدی بر اساس تصاویر توزیع های نانو ذره در تومورهای PC3، DU145 وLAPC4 در محیط COM...

full text

شبیه سازی تشدید میدان مغناطیسی ناشی از نانوذرّات بر بافت همگن واقع در میدان مغناطیسی خارجی

آشکارسازی تومورها در مراحل اولیه برای تشخیص سرطان از اهمّیّت بالایی برخوردار است. لذا برای تشخیص سلول­های سرطانی لازم است در شروع متاستازها از سلول­های نرمال متمایز شوند. مواد کنتراست فعلی به علّت اندازه­ی بزرگ و پوشش­های ضروری برای جلوگیری از فعّالیّت شیمیایی در بدن، تنها در فضای خارج از سلول قابل استفاده هستند. نانوذرات به سبب اندازه­ی کوچک و قابل مقایسه با سلول­ها، امکان ورود به سلول را دارد. بدی...

full text

مدل سازی مستقیم پاسخ فرکانسی مؤلفه قائم مغناطیسی میدان الکترومغناطیس حاصل از چشمه دوقطبی مغناطیسی افقی از زمین لایه ای

مدل­سازی مستقیم الکترومغناطیس (EM) با استفاده از چشمه­های اولیه متفاوت یکی از راه‎های درک پیچیدگی توزیع امواج EM در زمین و نیز صحت‎سنجی تفسیرهای زمین‎شناسی مرتبط با مدل‎های به‌دست‌آمده از معکوس‎سازی داده‎های صحرایی EM است. در این مقاله، از یک برنامه کامپیوتری از پیش نوشته‌شده در محیط برنامه­نویسی فرترن 77 به­منظور مدل­سازی مستقیم پاسخ فرکانسی میدان EM حاصل از چشمه دوقطبی مغناطیسی افقی استفاده‌ش...

full text

طراحی و پیاده سازی یک سیستم کنترل نیمه‌فعال سازه‌یی با استفاده از میراگر مغناطیسی جدید

در نوشتار حاضر، یک سیستم نیمه‌فعال سازه‌یی با استفاده از یک میراگر مغناطیسی جدید طراحی، ساخته و بر روی یک قاب برشی دو درجه آزادی آزمایشگاهی پیاده‌سازی شده است. در ابتدا بر پایه‌ی نتایج آزمون، پارامترهای مدل میراگر براساس مدل بوک ـ ون شناسایی شدند. در ادامه، کنترل‌کننده‌های قلاب آسمانی و تناسبی ـ مشتق‌گیر ـ انتگرال‌گیر طراحی و بر روی سازه پیاده‌سازی و عملکرد آن‌ها برای یک زلزله‌ی نمونه با استفاد...

full text

My Resources

Save resource for easier access later

Save to my library Already added to my library

{@ msg_add @}


Journal title

volume 7  issue 11

pages  77- 85

publication date 2011-08-23

By following a journal you will be notified via email when a new issue of this journal is published.

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com

copyright © 2015-2023